浙江大学集成电路学院高低温真空测试系统验收完成

2025年7月，浙江大学高低温真空测试系统验收完成，该系统集成了高低温真空探针台+半导体参数分析仪+可调单色光源+示波器等，可以测试IV，CV，PIV，加载了光纤臂，还可以在红外，紫外波段进

齐鲁空天信息研究院高低温真空探针台装机并验收

2025年6月，齐鲁空天信息研究院高低温真空探针台装机并验收。主要参数达成如下：（1）极限低温：-196.2度（液氮温度为-196.5度），无限接近液氮温度
（2）极限真空：-5pa
（3）达成时间：30分钟左右

浙江某单位8英寸高低温探针台完成交付

2025年5月，浙江某晶圆厂8英寸高低温探针台完成交付。采用压缩机制冷，温度范围-60~200度。


PS：现场交付图