2025年12月,中国科学院物理研究所完成了高低温真空探针台的安装调试与培训,此设备高低温范围-196度到500度,最小可以观测10um的pad电极。可以搭配半导体参数分析仪使用。
PS:
2025年,复旦大学光电研究院8英寸综合型探针台完成验收,配合国产概伦电子FS-Pro使用,可以测试IV,IT,CV,1/f噪声等。
现场图片:
2025年7月,浙江大学高低温真空测试系统验收完成,该系统集成了高低温真空探针台+半导体参数分析仪+可调单色光源+示波器等,可以测试IV,CV,PIV,加载了光纤臂,还可以在红外,紫外波段进