2025年,复旦大学光电研究院8英寸综合型探针台完成验收,配合国产概伦电子FS-Pro使用,可以测试IV,IT,CV,1/f噪声等。
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2025年7月,浙江大学高低温真空测试系统验收完成,该系统集成了高低温真空探针台+半导体参数分析仪+可调单色光源+示波器等,可以测试IV,CV,PIV,加载了光纤臂,还可以在红外,紫外波段进
2025年6月,齐鲁空天信息研究院高低温真空探针台装机并验收。主要参数达成如下:(1)极限低温:-196.2度(液氮温度为-196.5度),无限接近液氮温度
(2)极限真空:-5pa
(3)达成时间:30分钟左右