1. 满足各种温度的需求(极低温)因为晶圆在低温大气环境测试时,空气中的水汽会凝结在晶圆上,会导致漏电过大或者探针无法接触电极而使测试失败。避免这些需要把真空腔内的水汽在
从传统上讲,射频探针的接触是用铍(beryllium)-铜(BeCu)制作的。而且人们最早采用射频探针技术与今天的工具是很不相同的,之后工程师在探针技术上取得了突破,才确定了射频探针的基本
通常需要确定以下问题来确定探针台的选型:1、最大需要测几英寸的晶圆或者器件?2、探针台机械精度要求多高?3、点测样品的尺寸规格为多少?100um*100um或60um*60um的pad,还是FIB制