公司主导产品
PVD、PECVD、深硅刻蚀、ICP、RIE、IBE、二氟化氙刻蚀
全自动及半自动光刻机、匀胶显影设备
CMP化学机械研磨抛光机、氧化炉、扩散炉
等离子去胶、等离子清洗设备
SEM、TEM、FIB
台阶仪、纳米压痕测试仪、原子力显微镜
晶圆几何特性、薄膜应力、附着力测试仪
探针台、激光测振系统、3D光学测量仪、X光检测、AOI
引线键合机、楔焊机、粘片机、微点焊机
激光打标,激光调阻,激光切割、厚膜电路丝印机
AMAT、LAM、HITICH等国际知名厂商设备翻新
各类型工业泵的维修与养护
半导体行业常见化学品,各类耗材、Dummy Wafer