探针台配件
PRODUCT

防静电Peek卡盘

专为高端探针台精密测试打造,采用防静电 PEEK 材质一体成型,优异绝缘与抗静电性能,杜绝静电击穿与信号干扰。耐高温、低形变、高平整,适配晶圆精准吸附定位,有效提升测试稳定性与良率,是半导体晶圆检测的理想承载方案。

详细参数

 


•直径:4英寸, 6英寸,8英寸, 12英寸可选
•卡盘平整度:±5µm(可用于搭载半自动和全自动探针台)
•材质:高品质防静电Peek材料
•吸附形式:多孔吸附,每个真空通道均独立控制
•接受定制
配合探针台实物图: