探针是探针台电学测试过程中的主要耗材,其主要作用是通过探针的针尖接触样品的pad,从而传输信号。一般材质由钨或者铍铜材质组成(可选镀金)。
探针属于标准件,也可以接受定制。一般探针针杆直径都是0.51mm,适配市面所有标准三同轴夹具。探针针尖可以从0.1um到200um可选。
美国GGB ST 系列硬针
类别:ST系列
尺寸:钨材质
特点:纯钨99.99%,抗氧化性好。该系列硬针是0.020 inch (0.51mm) 直径钨材质针杆经过精密电化学加工成为不同的针尖直径,长度为1.5inch(38.1mm)的探针。这种探针应用与绝大多数的芯片电极点测和线路点测。此探针也可以用于与刮擦或者刺穿芯片表面钝化层,在半导体探针台领域次探针使用频率最高。
参数:针尖直径从1um到200um可选
型号:ST-20-0.5/1.0/2.0/5.0/10.0/25.0/50.0/100.0
美国GGB T-4 系列软针 类别:T-4系列
尺寸:钨材质
特点:T-4 系列软针较多的应用于点测集成电路的线路,电极,或者FIB(聚焦离子束) 制作的mini电极。该系列软针的结构采用不同直径钨材质针须焊接于镀锡的铜材质针杆上。其中T-4-10和T-4-22两款是客户反馈比较有优势的型号,因为其针须直径较细,具有良好的弯曲弹性,能够极大的减少对芯片电极的损害,在部分震动环境下面也能够保证和电极的良好接触。
参数:针尖直径从0.2um到10um可选
型号:T-4-5/10/22/35/60/125.0
铍铜探针:
类别:BCP系列
尺寸:铍铜材质或者铍铜镀金
特点:99.99%铍铜探针,相比于钨探针更加柔软,配合探针台使用,不容易扎破样品,能够极大的减少对芯片电极的损害,在部分震动环境下面也能够保证和电极的良好接触,比较适合于容易扎破扎穿那种样品的测试。
参数:针尖直径从1um到200um可选
型号:BCP050-3800-0.5R/1.0R/2.0R/5.0R/10.0R/25.0R/50.0R/100.0R
国产钨探针类别:WG系列
尺寸:钨材质或者钨镀金
特点:WG系列硬针是0.020 inch (0.51mm) 直径钨材质针杆经过精密电化学加工成为不同的针尖直径 ,长度为1.5inch(38.1mm)的探针。这种探针应用于绝大多数的芯片电极点测和线路点测。WG系列硬针可以用于与刮擦或者刺穿芯片表面钝化层。该探针可选表面镀金,表面镀金时接触电阻更小,可以减小接触电阻对测试的影响,也可以防止氧化。
参数:针尖直径从1um到200um可选
型号:WG-0.5R/1.0R/2.0R/5.0R/10.0R/25.0R/50.0R/100.0R
产品实物图(美国GGB ST和T-4系列) 产品实物图(国产 BCP和WG系列)
点针实物图: