产品简介：

结构功能：

• 主体材料：航空级铝材
• 卡盘材质：316不锈钢镀金，带两个背电极，呈180度设计
• 卡盘大小和行程：4英寸，6英寸，8英寸，行程和卡盘大小匹配
• 卡盘Z轴升降：chuck快速升降5mm；微调升降，行程6mm，精度1微米（选件）
• 卡盘吸附形式：环形吸附或者多孔真空吸附，均独立控制
• 成像系统：兼容体式显微镜，视频显微镜，带CCD成像系统，可拍照，录像，标尺
• 探针座：可选直流或者射频探针座，精度0.5um，0.7um，1um可选
• 直流夹具：三轴夹具100FA/同轴夹具10PA

• U型针座平台进行了加宽设计，可同时容纳不少于10个探针座同时进行测试，并且具备地线端子。
• 可以自由配备三目体视显微镜或者视频显微镜（带物镜）
• 可以搭配200万像素的CCD数字成像系统（或者4K），具备拍照、录像、图像标尺测量功能；带标准接地接口；标准三孔电源线；支持HDMI视频输出接口及USB数据接口。
• 配置高精度三轴探针杆，具备低漏电设计，三轴探针夹具（Triaxial Probe Holder），无磁设计，双卡扣结构，可根据探针座尺寸定制适配；漏电噪声≤100fA
• 和业内主流源表可以自由搭配，吉时利，是德科技，普赛斯，概伦电子，通惠电子等
• 搭配源表，最大输出电压≥100V；直流输出电流≥3A，脉冲输出电流≥10A；最大直流输出功率≥30W，最大脉冲输出功率≥300W。支持四象限源/阱工作模式。
• 带自适应减震机构，带标准地线，防止静电干扰

产品实物图：(搭配Keithley 4200A‑SCS半导体参数分析仪）

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