标准探针台
PRODUCT

DM系列基础型探针台

产品简介:

DM系列探针台是我司一款基于高校教育与实验室而研发的基础型晶圆测试探针台。其结构紧凑,设计精密,价格实惠,配置灵活,极具性价比。在高等院校教学和小型实验室科研过程中得到了广泛运用,配合对应的仪器仪表,用于测试各类器件的IV、CV、I-t、V-t,光电信号,1/f噪声测试,器件表征测试,RF射频等。如果您的测试器件pad电极大于50um,此系列探针台是首选。

产品优势:
整机一体化设计,结构紧凑占地小,可放置于手套箱内使用;
自适应减震底座设计,可有效过滤环境中的震动源干扰;
U型平台镀镍设计,增大针座加载空间的同时还提高了针座平台和针座之间的吸附力。

结构功能:

产品实物图:
  

 

详细参数


主要参数:
  • 主体材料:航空级铝材
  • 卡盘材质:316不锈钢镀金,带两个背电极,呈180度设计
  • 卡盘大小和行程:4英寸,6英寸,8英寸,行程和卡盘大小匹配
  • 卡盘Z轴升降:chuck快速升降5mm;微调升降,行程6mm,精度1微米(选件)
  • 卡盘吸附形式:环形吸附或者多孔真空吸附,均独立控制
  • 成像系统:兼容体式显微镜,视频显微镜,带CCD成像系统,可拍照,录像,标尺
  • 探针座:可选直流或者射频探针座,精度0.5um,0.7um,1um可选
  • 直流夹具:三轴夹具100FA/同轴夹具10PA
  • 探针台台体:带自适应减震机构,带标准地线,防止静电干扰
以上为主要参数,详细参数可以下载资料或者联系我司销售。