产品简介：

结构功能：

• 主体材料：航空级铝材
• 卡盘材质：316不锈钢镀金，带两个背电极，呈180度设计
• 卡盘大小和行程：4英寸，6英寸，8英寸，行程和卡盘大小匹配
• 卡盘Z轴升降：chuck快速升降5mm；微调升降，行程6mm，精度1微米（选件）
• 卡盘吸附形式：环形吸附或者多孔真空吸附，均独立控制
• 成像系统：兼容体式显微镜，视频显微镜，带CCD成像系统，可拍照，录像，标尺
• 探针座：可选直流或者射频探针座，精度0.5um，0.7um，1um可选
• 直流夹具：三轴夹具100FA/同轴夹具10PA

• 整机结构与材质：整机底板及主体采用航空铝金属材料。 U 型镀镍平台结构且平台面积须能同时安装不少于10 个探针座。平台带两个标准接地端子
• 光学观察系统：配备三目体视显微镜头，总光学放大倍率覆盖16×～100×（连续变倍），配备≥200 万像素工业级CCD 成像系统，支持HDMI 和USB 双输出接口，图像输出分辨率≥1920 ×1080，帧率≥60fps@1920 ×1080。具备拍照、录像、尺寸标尺测量功能。配套≥21 英寸高清显示器。为保证fA级微弱信号测试环境及操作人员安全，工业相机及成像系统供电须采用带接地保护的标准三芯交流电源输入接口
• 电测仪表—电气性能与测量精度：最大输出电压≥100V；直流输出电流≥3A，脉冲输出电流≥10A；直流最大输出功率≥30W，脉冲最大输出功率≥300W。支持四象限源/阱工作模式。最小可编程脉冲宽度≤200 μs，脉宽编程分辨率≤20 μ s；内置脉冲/波形发生功能，至少可输出方波、正弦波、三角波、锯齿波等基本波形。兼容2 线制和4线制（Kelvin）测量模式，具备GUARD 保护功能。
• 可以自由配备三目体视显微镜或者视频显微镜（带物镜）
• 可以搭配200万像素的CCD数字成像系统（或者4K），具备拍照、录像、图像标尺测量功能；带标准接地接口；标准三孔电源线；支持HDMI视频输出接口及USB数据接口。
• 配置高精度三轴探针杆，具备低漏电设计，三轴探针夹具（Triaxial Probe Holder），无磁设计，双卡扣结构，可根据探针座尺寸定制适配；漏电噪声≤100fA
• 和业内主流源表可以自由搭配，吉时利，是德科技，普赛斯，概伦电子，通惠电子等
• 搭配源表，最大输出电压≥100V；直流输出电流≥3A，脉冲输出电流≥10A；最大直流输出功率≥30W，最大脉冲输出功率≥300W。支持四象限源/阱工作模式。
• 带自适应减震机构，带标准地线，防止静电干扰

产品实物图：(搭配Keithley 4200A‑SCS半导体参数分析仪）

点击下载