产品简介：
主要参数：
主体材料：航空级铝材
卡盘材质：316不锈钢镀金，带两个背电极，呈180度设计
卡盘大小和行程：4英寸，6英寸，8英寸，12英寸。行程和卡盘大小匹配。(8英寸和12英寸的台体自带快速气浮移动)
卡盘Z轴升降：chuck快速升降5mm;微调升降，行程6mm，精度1微米(大波轮+摇杆设计)
卡盘吸附形式：环形吸附或者多孔真空吸附，均独立控制，可以测试对于尺寸的样品和单个die
（比如：8英寸探针台可以测试8英寸及8英寸以下样品，也可以测试单个点。）
成像系统：兼容体式显微镜，视频显微镜，金相显微镜，带CCD成像系统，可拍照，录像，标尺
探针座：可选直流或者射频探针座，精度0.5um，0.7um，1um可选
直流夹具：三轴夹具100FA/同轴夹具10PA
探针台台体：带高刚性龙门架结构，便于显微镜的移动，行程2英寸*2*2英寸，精度1um(显微镜可气动升降)
探针台台体：带自适应减震机构，带标准地线，防止静电干扰
以上为主要参数，详细参数可以下载资料或者联系我司销售。
产品优势：
（1）整机结构与尺寸：整机底板采用一体化高强度金属结构，确保系统刚性及长期稳定性。整机外形尺寸≤600mm（L）×480mm（W）×630mm（H），可放置于手套箱内操作，显示器外挂手套箱侧面。且U 型平台镀镍平台面积须能同时安装≥10 个探针座。
（2）显微镜变倍比覆盖0.75×～5×，配备5×物镜用于观察微小电极，配备≥200 万像素工业相机及CCD 成像系统，具备拍照、录像、尺寸标尺测量功能，图像输出分辨率≥1920×1080。配套≥21 英寸显示器，搭配可悬停支架固定于手套箱侧壁。工业相机及成像系统供电须采用带接地保护的标准三芯交流电源输入接口。
（3）探针杆与探针：每套设备须配备不少于8 根三轴同轴设计探针杆，探针杆及探针材料具备无磁特性，在±20V 电压下漏电噪声≤100fA，探针杆采用Z 字型设计，顶丝固定探针，确保在高倍率下观察时不与显微镜物镜发生空间干涉。探针座带接地端子。探针针尖直径≤2 μm。
（4）配合仪表，电测仪表—电气性能与测量精度：设备须为单通道，具备四象限输出和测量功能；电压源/测量范围应覆盖±20 mV～±200 V，电流源/测量范围应覆盖±10 nA～±1 A；电压和电流的测量显示分辨率均不低于6 位半，基本测量精度为≥0 .012％。
产品实物图：（图一配置金相显微镜，图二配置视频显微镜）
可升级加大U型平台设计，最多可以同时放置10个探针座同时扎针点测
8英寸DN探针台，配置金相显微镜，卡盘可360度移动。
