产品简介：
主要参数：
主体材料：航空级铝材
卡盘材质：316不锈钢镀金，带两个背电极，呈180度设计
卡盘大小和行程：4英寸，6英寸，8英寸，12英寸。行程和卡盘大小匹配。(8英寸和12英寸的台体自带快速气浮移动)
卡盘Z轴升降：chuck快速升降5mm;微调升降，行程6mm，精度1微米(大波轮+摇杆设计)
卡盘吸附形式：环形吸附或者多孔真空吸附，均独立控制
成像系统：兼容体式显微镜，视频显微镜，金相显微镜，带CCD成像系统，可拍照，录像，标尺
探针座：可选直流或者射频探针座，精度0.5um，0.7um，1um可选
直流夹具：三轴夹具100FA/同轴夹具10PA
探针台台体：带高刚性龙门架结构，便于显微镜的移动，行程2英寸*2*2英寸，精度1um(显微镜可气动升降)
探针台台体：带自适应减震机构，带标准地线，防止静电干扰
以上为主要参数，详细参数可以下载资料或者联系我司销售。
