产品简介:
DN系列探针台是我司一款增强型晶圆测试探针台,最大可完成12英寸晶圆的电学测试。此系列探针台采用高刚性显微镜龙门结构,显微镜可X-Y-Z方向进行精密位移调节。卡盘具备上下调节功能,可以使探针与样品快速分离,提高测试效率,在科研单位和半导体工厂都得到了广泛运用,配合对应的仪器仪表,可以完成集成电路/芯片/MEMS器件/PCB元器件/材料器件的IV/CV特性测试/管芯晶圆/LED/LCD/太阳能电池行业的测试。此系列探针台可以实现1μm以上的Pad电极测试。
技术特点:
• 显微镜具备高刚性龙门支架且搭配气动升降,保证高质量的光学成像;
• 卡盘同时具备快速和微调升降,便于样品和探针快速分离,也可以加载探针卡;