标准探针台
PRODUCT

DN系列增强型探针台

产品简介:

DN系列探针台是我司一款增强型晶圆测试探针台,最大可完成12英寸晶圆的电学测试。此系列探针台采用高刚性显微镜龙门结构,显微镜可X-Y-Z方向进行精密位移调节。卡盘具备上下调节功能,可以使探针与样品快速分离,提高测试效率,在科研单位和半导体工厂都得到了广泛运用,配合对应的仪器仪表,可以完成集成电路/芯片/MEMS器件/PCB元器件/材料器件的IV/CV特性测试/管芯晶圆/LED/LCD/太阳能电池行业的测试。此系列探针台可以实现1μm以上的Pad电极测试。

技术特点:
• 显微镜具备高刚性龙门支架且搭配气动升降,保证高质量的光学成像;
• 卡盘同时具备快速和微调升降,便于样品和探针快速分离,也可以加载探针卡;
• 可升级性强,可升级卡盘360度快速移动,可升级光电流扫描成像或拉曼-瞬态荧光寿命成像系统等。

结构功能:

产品实物图:
      

扎针图片:

详细参数


主要参数:
  • 主体材料:航空级铝材
  • 卡盘材质:316不锈钢镀金,带两个背电极,呈180度设计
  • 卡盘大小和行程:4英寸,6英寸,8英寸,12英寸。行程和卡盘大小匹配。(8英寸和12英寸的台体自带快速气浮移动)
  • 卡盘Z轴升降:chuck快速升降5mm;微调升降,行程6mm,精度1微米(大波轮+摇杆设计)
  • 卡盘吸附形式:环形吸附或者多孔真空吸附,均独立控制
  • 成像系统:兼容体式显微镜,视频显微镜,金相显微镜,带CCD成像系统,可拍照,录像,标尺
  • 探针座:可选直流或者射频探针座,精度0.5um,0.7um,1um可选
  • 直流夹具:三轴夹具100FA/同轴夹具10PA
  • 探针台台体:带高刚性龙门架结构,便于显微镜的移动,行程2英寸*2*2英寸,精度1um(显微镜可气动升降)
  • 探针台台体:带自适应减震机构,带标准地线,防止静电干扰
  • 以上为主要参数,详细参数可以下载资料或者联系我司销售。