标准探针台
PRODUCT

DH系列综合型探针台

产品概要:

DH系列探针台是一款综合型晶圆测试探针台, 最大可完成12英寸晶圆的电学测试。此系列探针台设备配置十分丰富,不仅具备龙门架结构和卡盘的升降功能,还具备业内领先的卡盘快速移动技术,可快速定位样品位置,提高测试效率。另外针座平台具备三段式升降功能,在不失焦的情况下可以使样品和探针做到快速分离,同时也方便探针卡的使用。此设备在大型实验室或者半导体工厂得到广泛运用,配合对应的仪器仪表,可以完成集成电路/芯片/MEMS器件/PCB元器件/材料器件的IV/CV特性测试/管芯晶圆/LED/LCD/太阳能电池行业的测试。此系列探针台可以实现1μm以上的Pad电极测试,也可以实现搭载探针卡的测试。

技术特点:

• 卡盘可 360 度快速移动,便于快速定位样品位置,提高测试效率 ;
• 三段式可升降探针座平台,在不失焦的情况下可以使样品和探针做到快速分离;
• 加厚级刚性金属框架结构设计,领先的内部防震技术,结构性能稳定。
结构功能:

产品实物图:
      

 

详细参数


主要参数:
  • 主体材料:航空级铝材
  • 卡盘材质:316不锈钢镀金,带两个背电极,呈180度设计
  • 卡盘大小和行程:6英寸,8英寸,12英寸,行程和卡盘大小匹配,台体自带快速气浮移动功能
  • 卡盘Z轴升降:chuck快速升降5mm;微调升降,行程6mm,精度1微米(大波轮+摇杆设计)
  • 卡盘吸附形式:环形吸附或者多孔真空吸附,均独立控制
  • 成像系统:兼容体式显微镜,视频显微镜,金相显微镜,带CCD成像系统,可拍照,录像,标尺
  • 探针座:可选直流或者射频探针座,精度0.5um,0.7um,1um可选
  • 直流夹具:三轴夹具100FA/同轴夹具10PA
  • 探针座平台:平台可以快速升降,可选择5mm和250um 两档,可以上下微调,行程25mm,升降精度1µm
  • 探针台台体:带高刚性龙门架结构,便于显微镜的移动,行程2英寸*2*2英寸,精度1um(显微镜可气动升降)
  • 探针台台体:带自适应减震机构,带标准地线,防止静电干扰
  • 以上为主要参数,详细参数可以下载资料或者联系我司销售。