产品概要：
DH系列探针台是一款综合型晶圆测试探针台, 最大可完成12英寸晶圆的电学测试。此系列探针台设备配置十分丰富，不仅具备龙门架结构和卡盘的升降功能，还具备业内领先的卡盘快速移动技术，可快速定位样品位置，提高测试效率。另外针座平台具备三段式升降功能，在不失焦的情况下可以使样品和探针做到快速分离，同时也方便探针卡的使用。此设备在大型实验室或者半导体工厂得到广泛运用，配合对应的仪器仪表，可以完成集成电路/芯片/MEMS器件/PCB元器件/材料器件的IV/CV特性测试/管芯晶圆/LED/LCD/太阳能电池行业的测试。此系列探针台可以实现1μm以上的Pad电极测试，也可以实现搭载探针卡的测试。
技术特点：
• 卡盘可 360 度快速移动，便于快速定位样品位置，提高测试效率 ；
• 三段式可升降探针座平台，在不失焦的情况下可以使样品和探针做到快速分离；
• 加厚级刚性金属框架结构设计，领先的内部防震技术，结构性能稳定。
结构功能：
技术资料：（1）整机加大U
型平台设计，可以同时放置10个及以上直流探针座，同时也具备加载110G或者更高射频测试系统的空间。
（2）机台卡盘表面采用镀金工艺减小接触电阻，可以360
度气浮快速移动以应对不同工作场景，提高测试效率。
（3）机台卡盘可以上下快速升降≥5mm，便于样品快速分离探针。卡盘也可以微调升降，行程≥6mm，精度≤1微米，方便使用探针卡时扎针。（大波轮+摇杆设计）
（4）U
型平台三档升降，具备5mm和250um两档快速升降（机械升降模式），也具备25mm快速升降（气动升降模式）。
（5）带CCD
成像系统，可以拍照，录像，标尺等功能，CCD带三款电源线，可有效接地。
（6）机台可以搭配110G
超高频探针座（或者更高频率），尺寸接受定制，可匹配扩频模块使用。
（7）整机台面加宽加大设计，兼容110G及以上
信号测试。
主要参数：
- 主体材料：航空级铝材
- 卡盘材质：316不锈钢镀金，带两个背电极，呈180度设计
- 卡盘大小和行程：6英寸，8英寸，12英寸，行程和卡盘大小匹配，台体自带快速气浮移动功能
- 卡盘Z轴升降：chuck快速升降5mm；微调升降，行程6mm，精度1微米（大波轮+摇杆设计）
- 卡盘吸附形式：环形吸附或者多孔真空吸附，均独立控制
- 成像系统：兼容体式显微镜，视频显微镜，金相显微镜，带CCD成像系统，可拍照，录像，标尺
- 探针座：可选直流或者射频探针座，精度0.5um，0.7um，1um可选
- 直流夹具：三轴夹具100FA/同轴夹具10PA
- 探针座平台：平台可以快速升降，可选择5mm和250um 两档，可以上下微调，行程25mm，升降精度1µm
- 探针台台体：带高刚性龙门架结构，便于显微镜的移动，行程2英寸*2*2英寸，精度1um（显微镜可气动升降）
- 探针台台体：带自适应减震机构，带标准地线，防止静电干扰
- 以上为主要参数，详细参数可以下载资料或者联系我司销售。
产品实物图：
- 搭配keysight B1500A半导体参数分析仪：
此产品DH6可以实现光电器件变温环境显微测试表征平台的搭建，主要参数如下：
1.整机采用航空铝材，可测试6英寸及以下样品，整机尺寸不超过约750mmL*550mmW*680mmH；
2.Chuck X/Y轴可以360度快速移动以应对不同工作场景，提高测试效率；
3.Chuck微调行程：6英寸*6英寸，精度10um，卡盘镀金设计，带真空吸附，分段控制；
4.Chuck可以上下快速升降5mm，便于样品快速分离探针。chuck微调升降，行程6mm，精度1微米，方便使用探针卡时扎针（大波轮+摇杆设计）；
5.高刚性龙门架结构，便于显微镜的移动，行程2英寸*2英寸*2英寸，精度1um，带显示器支架，与台体一体化设计。显微镜带气动升降功能；
6.探针平台可以快速升降，具备5mm和250um两档。也可以上下微调，行程25mm，精度1µm；
7.探针座平台优化设计，可以同时放置10个及以上的探针座，可提供实物图；
8.整机带标准接地端子，可有效防止静电对测试的影响；
9.长工作距离工业显微镜(定制导入空间光源200~2000nm波长），带400~700nm波长CCD 接口和200~2000nm波长导入光源接口；
10.显微镜带引导光组件 ，波长650nm；带可调长宽的方形光栅，0.05~5mm； 带引导光组件 ，波长650nm；带25倍宽带反射式物镜，200~20000nm波长；
11.显微镜带CCD成像系统，可以拍照，录像，标尺等功能，并且CCD可以有效接地；
12.显微镜带10X目镜，带5X，10X，20X，50X光学显微镜物镜；
13.带高精度探针座四套，行程12.5mm*12.5mm*12.5mm，精度0.7um，带接地端子。带超强可调磁性底座，磁性吸附力可达10kg以上，以此保证扎针的稳定性；
14.带高精度Z字型三轴夹具四套，漏电优于100FA，无磁设计，探针采用顶丝固定；
15.带气浮防震系统，垂直本征频率 1.5Hz，水平本征频率 1.2Hz；
16.带钨探针和铍铜探针各一盒；
17.配套定制铁磁屏蔽箱，可有效屏蔽全波段可见光，带接地线和高精度转接头，需独立于防震桌设计；
18.配变温热台：电加热，控温范围RT-1000℃，温度分辨率0.1℃，升温速率0.1-50 ℃/min，加热样品台尺寸>Φ15mm。
