产品概要：
DH系列探针台是一款综合型晶圆测试探针台, 最大可完成12英寸晶圆的电学测试。此系列探针台设备配置十分丰富，不仅具备龙门架结构和卡盘的升降功能，还具备业内领先的卡盘快速移动技术，可快速定位样品位置，提高测试效率。另外针座平台具备三段式升降功能，在不失焦的情况下可以使样品和探针做到快速分离，同时也方便探针卡的使用。此设备在大型实验室或者半导体工厂得到广泛运用，配合对应的仪器仪表，可以完成集成电路/芯片/MEMS器件/PCB元器件/材料器件的IV/CV特性测试/管芯晶圆/LED/LCD/太阳能电池行业的测试。此系列探针台可以实现1μm以上的Pad电极测试，也可以实现搭载探针卡的测试。
技术特点：
• 卡盘可 360 度快速移动，便于快速定位样品位置，提高测试效率 ；
• 三段式可升降探针座平台，在不失焦的情况下可以使样品和探针做到快速分离；
• 加厚级刚性金属框架结构设计，领先的内部防震技术，结构性能稳定。
结构功能：
技术资料：（1）整机加大U
型平台设计，可以同时放置10个及以上直流探针座，同时也具备加载110G或者更高射频测试系统的空间。
（2）机台卡盘表面采用镀金工艺减小接触电阻，可以360
度气浮快速移动以应对不同工作场景，提高测试效率。
（3）机台卡盘可以上下快速升降≥5mm，便于样品快速分离探针。卡盘也可以微调升降，行程≥6mm，精度≤1微米，方便使用探针卡时扎针。（大波轮+摇杆设计）
（4）U
型平台三档升降，具备5mm和250um两档快速升降（机械升降模式），也具备25mm快速升降（气动升降模式）。
（5）带CCD
成像系统，可以拍照，录像，标尺等功能，CCD带三款电源线，可有效接地。
（6）机台可以搭配110G
超高频探针座（或者更高频率），尺寸接受定制，可匹配扩频模块使用。
（7）整机台面加宽加大设计，兼容110G及以上
信号测试。
