标准探针台
PRODUCT

UC系列高低温非真空探针台

产品概要:

UC系列探针台是一款在非真空条件下实现低温环境的测试探针台。该产品采用液氮或者空气压缩机制冷,自动控温,设备配置非常丰富。自带屏蔽暗室,一方面可以屏蔽无线电磁干扰,另外一方面也可以保持氮气正压环境下样品在低温时无结霜。此设备对于一些有温度需求的测试,尤其是低温,运用非常广泛。

技术特点:
• 采用密闭腔结构,屏蔽无线电磁干扰的同时可给样品提供高低温测试环境;
• 卡盘可 360 度快速移动,便于快速定位样品位置,提高测试效率;
• 加厚级刚性金属框架结构设计,领先的内部防震技术,结构性能稳定。
功能结构:



 

详细参数


主要参数:

  • 主体材料:航空级铝材
  • 卡盘材质:316不锈钢镀金,带两个背电极,呈180度设计
  • 卡盘大小和行程:6英寸,8英寸,12英寸,行程和卡盘大小匹配,台体自带快速气浮移动功能
  • 温度范围:-60度到200度,温控精度+-0.1度(温度区间可以扩展)
  • 卡盘快速拉出机构设计,便于快速更换样品
  • 卡盘吸附形式:环形吸附或者多孔真空吸附,均独立控制
  • 成像系统:兼容体式显微镜,视频显微镜,金相显微镜,带CCD成像系统,可拍照,录像,标尺
  • 探针座:可选直流或者射频探针座,精度0.5um,0.7um,1um可选
  • 直流夹具:三轴夹具100FA/同轴夹具10PA
  • 高屏蔽腔体:屏蔽外部电信干扰,提供更低噪声和漏电流环境,保持氮气或正压环境下样品在低温时无结霜
  • 探针座平台:平台可以快速升降,可选择5mm和250um 两档,可以上下微调,行程25mm,升降精度1µm
  • 探针台台体:带高刚性龙门架结构,便于显微镜的移动,行程2英寸*2英寸*2英寸,精度1um(显微镜可气动升降)
  • 探针台台体:带自适应减震机构,带标准地线,防止静电干扰
  • 以上为主要参数,详细参数可以下载资料或者联系我司销售。


产品实物图: